中国光刻机上市公司有智光电气、飞凯材料、南大光电和蓝英装备。光刻机，英文名Mask Aligner，又名掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统，是制造芯片的核心装备，主要厂商有ASML、尼康、佳能、欧泰克、上海微电子装备、SUSS、ABM Inc。 国内光刻机上市企业简介 一、智光电气（002169） 智光电气主要从事电网安全与控制设备、电机控制与节能设备、供用电控制与自动化设备及电力信息化系统研发...

发布时间：2025-10-30 浏览量：20